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主要技術(shù)參數(shù)

系統(tǒng)放大倍數(shù)和分辨率
幾何放大倍數(shù) 可達(dá)2100倍
細(xì)節(jié)分辨能力 <1微米

亞微米級(jí)X射線管
類(lèi)型 開(kāi)放管，透射式管頭，170度輻射角，準(zhǔn)直功能
最大管電壓 160kV
最大管功率 20W
陽(yáng)極靶 無(wú)毒鎢靶，可旋轉(zhuǎn)調(diào)整以便多次使用
陰極燈絲 鎢絲，經(jīng)預(yù)調(diào)的即插式結(jié)構(gòu)，更換簡(jiǎn)單快速
真空系統(tǒng) 渦輪分子真空泵和無(wú)油式低真空泵

探測(cè)器
數(shù)字成像鏈 高分辨率4"圖像增強(qiáng)器和2百萬(wàn)像素?cái)?shù)字照相機(jī)

檢測(cè)平臺(tái)
總體結(jié)構(gòu) 高精度、無(wú)振動(dòng)、5軸同步驅(qū)動(dòng)
最大檢測(cè)區(qū)域 410mm×410mm
最大工件尺寸/重量 410mm×410mm/5kg
高放大倍率下傾斜視角 0°~70°無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)
旋轉(zhuǎn)角度 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
操控 操縱桿控制或鼠標(biāo)（手動(dòng)模式）和數(shù)控編程控制（自動(dòng)模式）
軸運(yùn)動(dòng)速度(X-Y-Z)                   10μm/s到80mm/s
操控輔助功能 X射線影像導(dǎo)航圖，點(diǎn)擊移動(dòng)功能，點(diǎn)擊放大功能，自動(dòng)保持視
野中心功能，激光定位瞄準(zhǔn)
防碰撞裝置 防止檢測(cè)樣品與射線管產(chǎn)生碰撞

圖像處理
quality|assurance/x|act base 功能全面的X射線二維圖像分析軟件（包含圖像對(duì)比增強(qiáng)和濾波
功能、測(cè)量功能、數(shù)控編程功能）
bga|module(標(biāo)準(zhǔn))                              BGA焊點(diǎn)自動(dòng)檢測(cè)功能
vc|module(標(biāo)準(zhǔn)) 空隙面積比自動(dòng)計(jì)算，包括多芯片的貼裝空隙檢測(cè)功能

系統(tǒng)尺寸
尺寸(W×H×D)                           1800mm×1900mm×1300mm (不包括控制臺(tái)和可拆卸后伸展臺(tái))
高度可調(diào)控制面板 400mm
重量 約2100kg

射線防護(hù)
全方位防護(hù)鉛 鋼防護(hù)結(jié)構(gòu)與鉛玻璃窗的安全屏蔽室輻射泄
漏率 <1μSv/h, 符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

硬件選配
傾斜/旋轉(zhuǎn)裝置 傾斜±45°，連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°，承重工件2kg
平板探測(cè)器 可替換圖像增強(qiáng)器
CT功能 需CT用高精度旋轉(zhuǎn)裝置與平板探測(cè)器